Što je polirajuća ploča od keramičke aluminijeve okside visoke čistoće?

S brzim razvojem poluvodičke industrije, opseg industrije se brzo povećao, a oprema za proizvodnju poluvodiča nastavila se razvijati u preciznost i složenost. Budući da keramika ima prednosti visoke tvrdoće, visokog modula elastičnosti, visoke otpornosti na habanje, visoke izolacije, otpornosti na koroziju, niskog širenja itd., može se koristiti kao dio strojeva za poliranje silicija, opreme za epitaksijalnu/oksidacijsku/difuzijsku toplinsku obradu, litografskog stroja, opreme za taloženje, opreme za jetkanje poluvodiča, stroja za ionsku implantaciju i druge opreme, tako da istraživanje, razvoj i proizvodnja preciznih keramičkih dijelova izravno utječu na razvoj poluvodičke industrije. Tehnički zahtjevi za njihovu pripremu postaju sve veći i veći.

Alumina visoke čistoće, 99,7%-99,9% aluminija.
Visoka mehanička čvrstoća, visoka otpornost na habanje, visoka električna izolacija, visoka kemijska stabilnost, dobra otpornost na toplinu i koroziju. Trenutno je korištenje keramičkih brusnih diskova za brušenje poluvodičkih silicijevih pločica najsuvremenija i najsuvremenija metoda brušenja. Dvostrani proces brušenja koristi se za brušenje izrezanih silicijevih pločica, a kvaliteta brusne pločice poboljšava se poboljšanjem procesa brušenja (materijal diska, tekućina za brušenje, tlak brušenja i brzina brušenja itd.). Konkretno, korištenje keramičkih ploča umjesto ploča od lijevanog željeza sprječava brušenje glavne površine pločice uzrokovano ožiljcima ili onečišćenjem, smanjuje unos metalnih iona, smanjuje naknadnu obradu silicija, skraćuje vrijeme naknadnog procesa (korozije), poboljšava učinkovitost proizvodnje i smanjuje gubitke pri obradi silicija, što uvelike poboljšava iskorištenje silicija.

Ploča za poliranje visokokvalitetnih aluminijevih pločicaKoristi se u poluvodičkoj, naftnoj, kemijskoj, fotonaponskoj, industriji tekućih kristala i drugim industrijama, kao što su mehanički dijelovi, elektronički dijelovi, diskovi za mikrovalnu indukciju, izolacijski materijali i drugi dijelovi, poluvodički uređaji, vakuumska oprema, oprema za proizvodnju tekućih kristala i drugi dijelovi. Aluminijeva keramika velike veličine i visoke čistoće ima važnu primjenu u industriji safira i industriji poluvodičkih čipova. Ključni je nosač i potrošni materijal za kemijsko-mehaničko poliranje (CMP) safirnih i poluvodičkih silicijevih pločica. Aluminijeva keramika velike veličine i visoke čistoće također se može koristiti kao aluminijeva podloga za LCD.